Bereits 1738 maß der Schweizer Wissenschaftler Daniel Bernoulli den Wasserfluss mit der Differenzdruckmethode basierend auf der ersten Bernoulli-Gleichung. Später untersuchte der italienische Wissenschaftler GB Venturi die Verwendung des Venturirohrs zur Messung von Strömungen und veröffentlichte seine Ergebnisse 1791.
1886 entwickelte der Amerikaner Herschel das Venturi-Rohr zu einem praktischen Messgerät für den Wasserdurchfluss.
Vom Anfang bis zur Mitte des 20. Jahrhunderts entwickelten sich die ursprünglichen Messprinzipien allmählich weiter und die Menschen beschränkten ihr Denken nicht mehr auf bestehende Methoden, sondern begannen mit neuen Erkundungen.
In den 1930er Jahren entstanden Methoden zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit von Flüssigkeiten und Gasen mithilfe von Schallwellen. Obwohl Methoden zur Messung von Strömungen mithilfe von Schallwellen erforscht wurden, machten sie bis zum Zweiten Weltkrieg keine nennenswerten Fortschritte. Erst 1955 wurde der Maxson-Durchflussmesser mit der akustischen Zirkulationsmethode zur Messung der Durchflussrate von Flugkraftstoff eingeführt.
Ab den 1960er Jahren begann sich die Messtechnik in Richtung Präzision und Miniaturisierung zu entwickeln.
Mit der rasanten Entwicklung der integrierten Schaltkreistechnologie wurden Ultraschall-Durchflussmesser mit Phasenregelkreistechnologie weit verbreitet eingesetzt. Der weit verbreitete Einsatz von Mikrocomputern hat die Fähigkeit zur Durchflussmessung weiter verbessert. Beispielsweise können Laser-Doppler-Geschwindigkeitsmesser durch die Ausstattung mit Mikrocomputern komplexere Signale verarbeiten.